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ナノスケール加工・計測と知的統合に関する学術の探究
高谷 裕浩 TAKAYA Yasuhiro
機械工学専攻 教授
統合設計学講座 ナノ加工計測学領域 高谷・水谷研究室
キーワード
メトロロジー、スマート精密加工計測、ナノ光計測、 光放射圧、光量子効果
重点分野
ＡＩ・データ、計測分析技術、光・量子
ここがポイント!【研究内容】
- 直径8ミクロンの光放射圧マイクロプロープを実装したマイクロ部品の3次元座標測定機（ナノCMM）を開発。
- 研究テーマカテゴリーは次の4本柱、{1}「レーザ応用ナノ計測技術」：ナノスケールものづくり基盤計測技術の確立、{2}「レーザ応用超微細加工技術」：ナノ加工技術の確立とナノ計測ツールの開発、{3}「ナノ計測システムの製造、組立技術」：ナノ生産技術における技術革新、および{4}「量子光学に基づいた次世代精密計測法」：フォトン・メトロロジ一基盤技術の確立。
- 予測型生産システムにおけるAlを利用するスマート精密加工計測の新たな研究戦術を展開！
応用分野
生産科学分野、機上・インプロセス計測関連、光学素子加工計測、超精密表面トポグラフィ測定機
論文・解説等
- [1] Yasuhiro Takaya, Int. J. of Automation Technology, Vol.8 No.1, 2014.
- [2] Takaya, Y. et al., CIRP Annals, Vol.65, Issue 1, 2016.
- [3] Uenohara, T., Takaya, Y., Mizutani, Y., CIRP Annals, Vol.66, Issue 1, 2017.