上野原 努

フォトニックナノジェットを用いた超微細レーザ加工

上野原努 UENOHARA Tsutomu

機械工学専攻助教
統合設計学講座ナノ加工計測学領域高谷・水谷研究室

キーワード

レーザ加工、ナノテクノロジー、光応用技術

重点分野

計測分析技術、光・量子

ここがポイント!【研究内容】

直径数マイクロメートルのマイクロ球にレーザを照射することで発生するフォトニックナノジェットの小さいビーム径かつ長い伝搬距離といった特異な光学特性を微細加工に応用。
光の回折限界よりも小さい超微細な加工が可能であることを実証。
マイクロ球に入射する光の振幅や位相の制御を駆使したフレキシブルなフォトニックナノジェット制御技術を開発中。
現在、フォトニックナノジェットを用いた加工技術にとどまらず、新たな計測技術への応用に奮闘中。

応用分野

高機能デバイス作製分野、計測分野

論文・解説等

[1] 上野原, 水谷, 高谷, 精密工学会誌, 86(1), 113-119 (2020)
[2] T Uenohara et al., Precision Engineering, 60, 274-279 (2019)
[3] T Uenohara et al., CIRP Annals - Manufacturing Technology, 66(1), 491-494 (2017)

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