Naフラックス法・OVPE法による
高品質ワイドギャップ半導体結晶成長技術

今西 正幸

今西 正幸 IMANISHI Masayuki

電気電子情報通信工学専攻 准教授
創製エレクトロニクス材料講座 マテリアルイノベーション領域 森研究室

キーワード

結晶成長、 ワイドギャップ半導体、 パワーデバイス、GaN、 酸化ガリウム

ここがポイント!【研究内容】

窒化ガリウム(GaN)結晶は青色発光ダイオードの材料として知られていますが、次世代パワーデバイスや次世代通信システムへの適用が期待されています。これらのデバイスを普及させるためには、GaN結晶の高品質化及び低コスト化が必要です。我々は液相法であるNaフラックス法を用い、高品質かつ大口径のGaN結晶を成長させる技術を確立しました。近年では気相法であるOVPE法と組み合わせ、GaNインゴットの作製を目指しております。また、同じくパワー半導体材料として注目されている酸化ガリウム結晶のOVPE法による高純度化にも取り組んでおります。

応用分野

電力変換機器、固体光源(LEDやレーザー)、5G通信技術

論文・解説等

  • [1] M. Imanishi et al., Cryst. Growth & Des. 17 (2017) 3806.
  • [2] M. Imanishi et al., Appl. Phys. Express 12 (2019) 045508.
  • [3] M. Imanishi et al., Appl. Phys. Express 13 (2020) 085510.