次世代グリーンデバイスを拓く半導体実用表面のサイエンス

有馬 健太

有馬 健太 ARIMA Kenta

物理学系専攻 教授
精密工学講座 ナノ表面界面工学領域

キーワード

表面科学、 固液界面反応、 半導体プロセス、 ナノカーボン、 触媒化学

重点分野

計測分析技術、カーボンニュートラル、革新的マテリアル

ここがポイント!【研究内容】

次世代半導体表面と液相(もしくは気相)との相互作用を極限レベルで理解し、制御することを目指す、表面科学の研究を進めています。これは、未来の電子デバイスの製造時に不可欠な表面創成プロセス(超精密加工、洗浄、成膜、メッキなど)の飛躍的な高度化を促します。また、新奇のエッチング現象を活用した、Ⅳ族元素から成る高性能ナノ材料の創出や、新しい計測・評価手法の開発にも取り組んでいます。これらにより、クリーンで快適なエネルギー利用社会の実現に貢献したいと考えています。

応用分野

電子・エネルギーデバイス分野、表面分析分野、生産プロセス分野

論文・解説等

  • [1] J. Li, K. Arima, et al., Phys. Rev. Res. 6 (2024) 013252 (9 pages).
  • [2] Z. Ma, K. Arima, et al., Langmuir, 38 (2022) 3748-3754.
  • [3] 有馬健太、応用物理、84 (2015) 1009-1012.