ナノスケール加工・計測と知的統合に関する学術の探究

高谷 裕浩

高谷 裕浩 TAKAYA Yasuhiro

機械工学専攻 教授
統合設計学講座 ナノ加工計測学領域 高谷・水谷研究室

キーワード

メトロロジー、スマート精密加工計測、ナノ光計測、 光放射圧、光量子効果

重点分野

AI・データ、計測分析技術、光・量子

ここがポイント!【研究内容】

  • 直径8ミクロンの光放射圧マイクロプロープを実装したマイクロ部品の3次元座標測定機(ナノCMM)を開発。
  • 研究テーマカテゴリーは次の4本柱、{1}「レーザ応用ナノ計測技術」:ナノスケールものづくり基盤計測技術の確立、{2}「レーザ応用超微細加工技術」:ナノ加工技術の確立とナノ計測ツールの開発、{3}「ナノ計測システムの製造、組立技術」:ナノ生産技術における技術革新、および{4}「量子光学に基づいた次世代精密計測法」:フォトン・メトロロジ一基盤技術の確立。
  • 予測型生産システムにおけるAIを利用するスマート精密加工計測の新たな研究戦術を展開!

応用分野

生産科学分野、機上・インプロセス計測関連、光学素子加工計測、超精密表面トポグラフィ測定機

論文・解説等

  • [1] Yasuhiro Takaya, Int. J. of Automation Technology, Vol.8 No.1, 2014.
  • [2] Takaya, Y. et al., CIRP Annals, Vol.65, Issue 1, 2016.
  • [3] Uenohara, T., Takaya, Y., Mizutani, Y., CIRP Annals, Vol.66, Issue 1, 2017.